Победитель конкурса
"Молодые ученые"

Виктория
Глухенькая

Разработка технологии формирования элементов многослойных тонкопленочных оптических отражающих дисплеев на основе материала с изменяющимся фазовым состоянием Ge-Sb-Te-О.

05.00.00 Технические науки


Нальчик


Национальный исследовательский университет Московский институт электронной техники
Аспирантура, 2 курс, факультет: Перспективных материалов и технологий


Описание проекта

Проект направлен на разработку технологии формирования многослойных структур Металл/ITO/GSTО и создания на их основе экспериментального образца элемента полноцветного тонкопленочного оптического отражающего дисплея (ТООД). Материалы Ge-Sb-Te (GST) широко используется для создания элементов интегральной оптики и оптических устройств фазовой памяти. В результате термического, импульсного лазерного или электрического воздействий в тонких пленках GST могут быть инициированы фазовые превращения между аморфным и кристаллическим состояниями. Данные превращения сопровождаются существенным изменением оптических параметров в видимом диапазоне длин волн, что позволяет управлять световым потоком. Недостаток разрабатываемых на основе GST отражающих устройств – большие оптические потери в функциональном слое элемента ТООД, которые приводят к снижению яркости RGB-субпикселей. Снизить потери можно за счет оптимизации состава тонких пленок GST кислородом (GSTO). Таким образом, применение многослойных структур Металл/ITO/GSTО для создания элементов отражающих дисплеев позволит осуществлять динамическое управление оттенком RGB-субпикселей. Область применения элементов ТООД–сфера уличной рекламы и рынок устройств, выполненных по E-ink технологии. Разрабатываемые отражающие дисплеи будут не менее, чем на 30% энергоэффективнее LED-дисплеев (статичная информация отображается без дополнительных энергозатрат) и быстрее E-book, т.к. скорость переключения пикселя будет увеличена более чем в 1000 раз.



Сейчас

Материальная поддержка будет направлена на модернизацию системы магнетронного распыления (МВУ ТМ-МАГНА 05) с целью возможности проведения технологических процессов напыления в кислородсодержащей атмосфере. В результате будет изготовлен экспериментальный образец тонкопленочного оптического отражающего дисплея на основе функциональных слоев ITO/GSTO с оптимизированными оптическими характеристиками, что обеспечит стабильность работы разрабатываемого элемента ТООД.