Разработка перспективной схемы поддержания оптического разряда для плазменного источника излучения
Симферополь
Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского Российской академии наук
Завершено обучение
Оптические разряды (плазма, поддерживаемая лазерным излучением) применяются в качестве широкополосных источников излучения высокой яркости и стабильности в спектроскопии, эллипсометрии, медицине и других областях. Одно из наиболее востребованных применений – инспекция фотолитографического процесса при производстве микросхем. Главные требования для таких источников – исключительная яркость, мощность и стабильность излучения. Работа направлена на повышение эффективности таких источников.
ВСЕ ПОДОПЕЧНЫЕ